1、本節(jié)適用于潔凈廠房中工業(yè)產(chǎn)品生產(chǎn)所需的酸、堿、有機物質等化學品供應設備、輸送管路系統(tǒng)的安裝施工質量驗收。
2、化學品供應設施安裝前，應按設計文件和產(chǎn)品說明書的要求或合約規(guī)定檢查設備、容器、閥門和附件的完整性和密封性等，并作檢查記錄。
3、化學品供應設施中的各類泵的安裝施工應符合現(xiàn)行國家標準《壓縮機、風機、泵安裝工程施工及驗收規(guī)范》GB 50275的規(guī)定。
4、潔掙室（區(qū)）內化學品輸送管道系統(tǒng)的閥門箱等的安裝，應符合下列要求：
（1）檢查箱體及箱內閥門、儀表和附件的完整性、密封性和合格證書，并作好檢查記錄；
（2）就位安裝應按工程設計文件、產(chǎn)品說明書要求進行，并檢查接管、接線方位的正確性；
（3）各種管道的連接，應在所在系統(tǒng)吹掃或清洗合格后進行。
5、化學品供應設施的容器、管道及其閥門、附件的材質，應符合工程設計文件要求。
6、容器的搬運、安裝就位，應符合下列要求：
（1）搬入潔凈室（區(qū)）前，應進行清潔，符合要求后從規(guī)定的搬入口運入；
（2）容器搬運，應根據(jù)容器結構、規(guī)格尺寸及接管配置狀況，進行可靠的固定，不得倒置；
（3）就位前，檢查基礎平整度、高度，基礎表面的水平度不得大于2%，標高偏差不大于2mm；
（4）容器各接管中心與基礎面上的基準線對準、測量，其允許偏差為3mm；
（5）容器安裝就位后的垂直度，不應大于2‰。
7、化學品供應設施的低碳不銹鋼管、PE管、PVDF管等的管道系統(tǒng)安裝施工見相關規(guī)定。
8、管道吹掃或清洗，應符合下列要求：
（1）按各種化學品供應系統(tǒng)，分別在安裝完成后分系統(tǒng)進行吹掃或清洗；
（2） 吹掃或清洗宜采用干燥壓縮空氣或純氮或清潔水，吹掃介質壓力為0.2-0.3MPa：吹掃管道應設置過濾精度嚴于0.單m的過濾器；
（3） 吹掃清洗時，應關斷所有接至各類容器的閥門；管道系統(tǒng)的過濾器濾芯，流量計應卸下，待吹掃后按原樣恢復；
（4） 各系統(tǒng)的吹掃應反復多次沖擊進行，吹掃時間不宜少于2.0h，并以濕的白色濾紙或白布或涂有白色漆的靶板放在吹掃氣排出口，經(jīng)5min后檢查微粒狀況。不合格時，繼續(xù)吹掃，直至合格。
9、管道系統(tǒng)的試驗、試運轉應符合下列要求：
（1） 管道系統(tǒng)的試驗應按工程設計文件要求進行強度試驗、氣密性試驗，金屬管道的試驗方法參照現(xiàn)行國家標準《工業(yè)金屬管道工程施工及驗收規(guī)范》GB 50235的規(guī)定進行；
（2）管道系統(tǒng)的試驗、試運轉，通常不包括各類容器、泵類等設各；
（3）承壓管道應進行強度和嚴密性試驗，強度試驗的試驗壓力為設計壓力的1.5倍，嚴密性試驗的試驗壓力為設計壓力的1.15倍。非承壓管道應進行滿水試驗；
（4）試驗合格后，以純水或氮氣進行清洗吹掃，直至末端無雜質、污染物為合格。