一、層流潔凈室的送風量一般按室內斷面風速確定
100級垂直層流潔凈室斷面風速不小于0.25m/s;水平層流潔凈室斷面風速不小于0.35 m/s。潔凈室內氣流的橫向擴散只在甚低的流速下才有可能，單向流在合理的氣流組織下，流速0.05～0.1m/s就足夠帶走污染物，在此流速下亞微米粒子的擴散性能遠低于對流性能；而大于0.36m/s的氣流速度反而易千百萬渦流，引起污染物的再卷入。因此，潔凈間的理想自凈時間Tr=體積/流率，到一定值后由于污染物的再卷入，再增大氣流速度，實際的Tr并不再有明顯的減少。
有關推薦或參考值的應用潔凈間內一定潔凈度下氣流速度的確定，隨潔凈間用途等具體情況而異，它不僅受室內發塵量及過濾器效率還受其他因素影響，就工業潔凈間工程而言，影響潔凈度及選擇氣流速度的因素主要是：
1、潔凈間內污染源：建筑物組件、人員數量及操作活動、工藝設備、工藝材料及工藝加工本身等都是塵粒釋放源，根據具體情況而異，變化很大。
2、潔凈間內氣流流型及分布：單向流要求均勻、平等的流線，但會受到工藝設備布置和位置變動及人員活動情況等的干擾形成局部渦流；而非單向流要求充混合，避免死角及溫度分層。
3、自凈時間（恢復時間）的控制要求：潔凈間中事故釋放或帶入污染物或空氣氣流的中斷或正常操作時的間歇性對流氣流或人及設備的移動等都會造成潔凈度的惡化，恢復到原來潔凈度的自凈時間決定于氣流速度；對自凈時間的控制要求取決于此時間框架內（惡化的潔凈度下），對產品的質量及成品率影響的承受能力。4、末級過濾器的效率：在一定的室內發塵量下，可采用較高效率的過濾器以降低氣流速度；為節能應考慮采用較高效率的過濾器，并降低氣流速度，或采用較低效率的過濾器并采用較高的氣流速度，以求流量與阻力的乘積最小；末級過濾器的效率對潔凈度的影響是值得起注意的。有的氣流速度/換氣次數推薦或參考值對末級過濾器效率提高的因素往往沒作考慮。當前HEPA/ULPA的效率從99.67%、99.99%、99.999%、99.9995%直至8個9以上都可選擇。其效率對氣流速度的影響除以上已提及外，以下方面亦值得引起注意，在非單向流情況下，按衡釋原理的潔凈間內含塵濃度穩定公式可以得出：
(a)室內發塵量較高時，末級過濾器效率的變化對潔凈度影響甚微，因此在這種情況下，過高的過濾效率是無必要的。
(b)室內發栺塵量較低的情況下，采用低的氣流速度下，末級過濾器效率的變速器變化，對潔凈度的影響增大。
5、經濟性考慮：過大的氣流速度造成投資及運行費用的增加，合適的氣流速度為以上諸因素合理的綜合，過大往往不必要，亦不一定有效果。
6、對潔凈度要求低的潔凈間工程，有時換氣次數決定于室內排熱的要求。
二、亂流潔凈室一般按換氣次數估算
1000級潔凈室不小于50次/h
10000級潔凈室不小于25次/h
100000級潔凈室不小于15次/h
三、換氣次數注意要點
萬級換氣次數≥25次/小時(一般取25-30)
十萬級換氣次數≥15次/小時(一般15-25)

四、百級潔凈室一般不按照換氣次數來算
百級潔凈室一般需要滿布，具體需要找凈化工程師計算相關風量。但是不能盲目按照換氣次數進行設計風量，要考慮房間及工藝余熱、余濕。否則剛開始風量也許能滿足溫濕度要求，系統運行一段時間后就不會效果那么好了。
以上因素，皆很難量化，只能分析對比并估計。因此在工程應用中，對潔凈間的氣流速度往往參照有關規范、導則等的推薦或參考值，再按具體情況估計以上各影響因素進行綜合考慮后確定。氣流速度用于單向流潔凈間；非單向流潔凈間宜用換氣次數，據報道，目前IEST對潔凈間內氣流速度推薦值的下限有所降低，如：≤ISO5級：氣流速度0.2～0.5m/s；ISO6級或5級（非單向流）；換氣次數＞200次/h；ISO7級：換氣次數20～200次/h; ISO8級：換氣次數2～20次/h。