為了在潔凈室運行過程中及時了解與判定潔凈室所處狀態是否符合設計要求和滿足生產的需要，潔凈室應定期對其主要技術性能指標進行周期性監測，某些高級別潔凈室對一些關鍵性指標甚至設置了連續巡查的裝置，以便及時判定潔凈室的受控狀態。
1、（表1：）標準ISO 14644-2的規定

備注：這些測試可按照規定的ISO等級在動態或靜態條件下進行；
a.氣流量可用風速或風量測量方法測得。
b.本項測試不適用于非全封閉的潔凈區。
除上表規定的標準測試外，ISO 14644-2還給出了任選項目的測試，下表所列的任選項目測試也可包括在測試項目中。
（表2：）任選項目測試的時間間隔：
 
ISO 14644-2對潔凈室監測還作出了如下一些補充規定：
（1）除表1所列的標準監測項目外，用戶與承包商可共同商定增添其他的測試項目。
（2）如果潔凈室裝置了懸浮粒子濃度和壓差的監測儀表，并連續或頻繁的進行監測，且監測結果始終處于規定的限制以內，則可延長表1所列的時間間隔。
（3）如果監測數據出現超過規定限制的情況，標明潔凈室不符合要求，要及時采取適當的補救措施，補救措施完成后應對潔凈室進行再認定，若符合要求，就可以恢復例行監測。
（4）懸浮粒子濃度及其它參數的例行監測一般是在動態下進行。
（5）懸浮粒子的監測計劃是根據潔凈室的風險分析與評估制定的。該計劃中應該包括的內容有：預先設定的采樣裝置，每個空氣樣本的小采樣量、采樣的時間長短、采樣的時間間隔、測量的粒徑、計數的許可限制。如果需要還可包括報警值、行動限制、漂移值。
2、國家標準GB 50073-2001關于監測的規定
GB 50073-2001對潔凈室的監測作了如下規定，確認潔凈室或潔凈區符合規范要求應進行三項測試：
（1）空氣潔凈度測定（生物潔凈室應進行浮游菌、沉降菌測定）；
（2）靜壓差測試；
（3）風速或風量測試。
三項測試的長時間間隔分別列于下表3和表4中。
（表3：）空氣潔凈度等級認證的測試要求

（表4：）靜壓差和風速（風量）認證的測試要求

備注：如果潔凈室或潔凈區已對粒子濃度、風速、靜壓差執行連續監測，并且其測試值均符合本規范要求，則認證的測試時間間隔可延長。具體間隔時間，可與認證單位洽商。
a.空氣潔凈度等級認證，可在靜態或動態檢測，洽商確定。
b.風量測定，用風速計在風口或風管測定。
c.該項測試不適用于潔凈區。