一、基本參數(shù)
1、潔凈度
潔凈度是潔凈室的重要基本的技術(shù)指標(biāo)。其單位是：?jiǎn)挝惑w積的空氣中粒徑不小于某一尺度的微粒個(gè)數(shù)。尤其是微電子行業(yè)對(duì)于潔凈室的要求較高。
2、微生物濃度
微生物濃度是潔凈室的另一項(xiàng)重要技術(shù)指標(biāo)。其單位是：?jiǎn)挝惑w積的空氣中微生物個(gè)數(shù)。生物工程行業(yè)對(duì)于微生物濃度的要求較高，其次是醫(yī)療、制藥、食品、飲料、化妝品等行業(yè)。空氣中的微生物是空氣微粒的一部分，確切的說(shuō)是危害較大的一部分。通常測(cè)定的是空氣中細(xì)菌的濃度。
3、溫度
溫度是基本的工作條件，幾乎所有的潔凈室對(duì)于溫度都有明確的要求。溫度會(huì)影響植體的尺度，從而影響加工的度，從而影響加工的度，所以精密加工對(duì)于溫度有相當(dāng)嚴(yán)格的要求。溫度會(huì)影響儀器的參數(shù)，從而產(chǎn)生測(cè)定誤差，所以精密測(cè)量?jī)x器對(duì)于溫度的要求也較高。
4、濕度
濕度也是基本的工作條件，幾乎所有的潔凈室對(duì)于濕度都有明確的要求。濕度過(guò)大會(huì)使許多物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，從而影響產(chǎn)品質(zhì)量，甚至使設(shè)備失效，產(chǎn)品報(bào)廢。濕度過(guò)低又會(huì)使許多物質(zhì)脫水變形，失去原有的功能。
5、風(fēng)速與風(fēng)量
足夠的風(fēng)速與風(fēng)量是潔凈度的保證，過(guò)大的風(fēng)速與風(fēng)量不僅浪費(fèi)能量，而且有時(shí)會(huì)影響正常的工作。
6、氣壓與壓差
正常的氣壓是正常工作的基本條件。必要的壓差是控制漏氣方向的手段。微電子行業(yè)的潔凈室為了保證潔凈度，不允許低潔凈度的空氣向高潔凈度區(qū)域泄露。病毒實(shí)驗(yàn)室或傳染病房不允許室內(nèi)空氣向室外泄露。
7、噪聲
過(guò)大的噪聲不僅會(huì)影響正常的工作，而且會(huì)影響人員的身體健康，降低噪聲是潔凈度的一項(xiàng)基本要求。
8、照度
適當(dāng)?shù)恼斩仁钦９ぷ鞯谋匾獥l件。
二、特殊參數(shù)
1、振動(dòng)
振動(dòng)會(huì)影響儀器設(shè)備的穩(wěn)定性，從而影響儀器的準(zhǔn)確度，還會(huì)影響設(shè)備的加工度，所以有些潔凈室需要控制振動(dòng)。
2、靜電
靜電有許多危害，特別容易損壞微電子元件，所以微電子行業(yè)采取相應(yīng)的防護(hù)措施，預(yù)防靜電的產(chǎn)生或者使產(chǎn)生的靜電能夠及時(shí)泄漏，以減少靜電對(duì)電子行業(yè)所造成的損失。
3、有害氣體濃度
有害氣體的種類繁多，有的會(huì)損害人體健康，有的會(huì)影響產(chǎn)品質(zhì)量和產(chǎn)品合格率，所以潔凈度需要控制有害氣體濃度。
4、輻射強(qiáng)度
X射線、Y射線、電磁波等輻射對(duì)人體有較大的的損害，有時(shí)對(duì)生產(chǎn)設(shè)備或產(chǎn)品也有損害。