一、污染物種類
通常所指的空氣污染物主要有以下三類：
1、懸浮在空氣中的固態、液態微粒。
2、霉菌、致病菌等懸浮在空氣中的微生物。
3、各種對人體或生產過程有害的氣體。
以潔凈室為對象的空氣凈化的目的，就是大可能地把空氣介質中的懸浮微粒過對于生物潔凈室，還要控制有生命的微粒微生物。
二、微粒的分類
1、按微粒的形成方式分類
（1）分散性微粒：固體或液體在分裂、破碎、振蕩、氣流等作用下變成懸浮狀態而形成。其中固態分散性微粒是形狀*不規則的粒子，或是由集結不緊、凝結松散的粒子組合而形成的球形粒子。
（2）凝集性微粒：通過燃燒、升華或蒸氣凝結以及氣體反應而形成。其中固態凝集性粒一般是由數目很多的，有著規則晶體形狀或者球狀的原生粒子結成的松散集合體所組成；液態凝集性微粒是由比液態分散性微粒小得多、分散性也小的粒子所組成的。
2、按微粒的來源分類
（1）無機微粒：例如：金屬塵粒、礦物塵粒和建材塵粒等。
（2）有機微粒：例如：植物纖維，動物毛、發、角質、皮屑，化學染料和塑料等。
（3）有生命微粒：例如：單細胞藻類、菌類、原生動物、細菌和病毒等。
3、按微粒的大小分類
（1）可見微粒：肉眼可見，微粒直徑大于10um。
（2）顯微微粒：在普通顯微鏡下可以看見，微粒直徑為0.25~10um。
（3）超顯微微粒：在超顯微鏡或電子顯微鏡下可以看見，微粒直徑小于0.25um。
4、微粒的通用分類
（1）灰塵：包括所有固態分散性微粒。這類微粒在空氣中的運動受到重力、擴散等多種因素影響，是空氣潔凈技術接觸多的一種微粒，也稱為粉塵。
（2）煙：包括所有固態凝集性微粒，以及液態粒子和固態粒子因凝集作用而產生的微粒，還有從液態粒子過渡到結晶態粒子而產生的微粒。一般情況下，煙的粒徑遠在0.5μm以下(如香煙的煙、木材的煙、煤煙等)，在空氣中主要呈布朗運動，有相當強的擴散能力，在靜止空氣中很難沉降。
（3）霧：包括所有液態分散性微粒和液態凝集性微粒。根據ISO的定義，霧概括為“系屬于氣體中液滴的懸浮體的總稱，在氣象中指造成的能見度小于1km的水滴的懸浮體”。 微粒大小因生成狀態而異，粒徑為0.1-100um，其運動性質主要受斯托克斯定律支配。例如，從S0₂作為實驗空氣過濾器的標準塵源。如，從S0₂氣體產生的硫酸霧，因加熱和壓縮空氣的作用產生的油霧，都屬于霧，后者可作為實驗空氣過濾器的標準塵源。
（4）煙霧：包括液態和固態，既含有分散性微粒又含有凝集性微粒。微粒大小從十分之幾微米到幾十微米，例如，工業區空氣中由煤粉塵、二氧化硫、氧化碳微粒大小從十分之和水蒸氣所形成的結合體就是這種煙霧型微粒。根據ISO的定義，煙霧“通常系指燃燒產生的能見氣溶膠”，“不包括水蒸氣”，說明其和霧略有差異。
三、空氣微生物
空氣微生物如細菌、病毒、真菌、花粉、藻類和噬菌體等都是重要的空氣污染源。空氣中無固有的生物群系，因為一般情況下空氣中缺少微生物直接可利用的養料，所以空氣微生物不能在空氣中生長繁殖。空氣微生物群是由暫時懸浮于空氣中的塵埃攜帶著的微生物所構成。從這個意義上講，空氣微生物都是自然因素和人為因素污染的結果。一般情況下，空氣微生物來源于土壤、灰塵、江河湖海、動物、植物及人類本身。
1、來源于植物：空氣中的花粉、孢子和某些細菌、真菌來源于植物。植物能向空氣中釋放大量的細菌，植物表層的病毒也可由風力或借助其他外力進人空氣。
2、來源于動物：動物極易污染環境造成許多傳染病的流行，其中許多可通過呼吸道傳播給人。動物帶菌和排菌比人類更加嚴重。
3、來源于人體：人類是許多場合特別是公共場所空氣微生物的重要來源。有些傳染病可以通過空氣在人間傳播流行。對人體上的微生物采樣位置不同，其數量差別也很大。
（1）正常人在靜止條件下，每分鐘可向空氣排放500~1500個微生物。
（2）人在活動時，每分鐘向空氣中排放數千至數萬個微生物。
（3）人體外層皮膚每平方毫米可有1x10⁶個微生物。
（4）每毫升唾液中含有1x10⁹個微生物。
（5）每毫升鼻涕中含有1x10⁶個微生物。
（6）打噴嚏產生的氣溶膠中(如果沒有手絹一類的遮攔)，含有1x10⁶個微生物。
（7）人體分泌物中每克可含有1x10¹²個微生物，這大約是分泌物干重的50%。
4、來源于生產活動：許多微生物氣溶膠來源于各類生產活動。除農業、林業和畜牧業生產以外，許多工業生產如發酵、制藥、食品、制革和毛紡生產均可造成空氣微生物污染。
5、來源于自然界：也就是固體的土壤，液體的江河湖海等。土壤、江河湖海以及各種腐爛物、污染物中均有大量的微生物，在外力如人力、風力、水力的作用下可形成大量的微生物氣溶膠。大氣微生物的污染是生命微粒的污染，與潔凈室空氣凈化有關的主要是細菌和藻類，室外大氣菌的濃度在不同的地區和不同的時間變化很大，一般情況下，大氣菌濃度為1000-5000pc/m³,一般可取2000-3000pc/m³ 。從微生物角度上看，不論是細菌還是病毒，只有附在載體上才可能生存，載體的大小稱為微生物的等價直徑，在非潔凈的普通房間，微生物等價直徑為6-8μm，在一般情況下的室外為8~12μm，在潔凈室為1~5μm。
四、污染源
1、室外污染源
（1）大氣塵
大氣塵是空氣潔凈的直接處理對象。大氣塵是指大氣中的懸浮微粒，不僅包括固體塵，也包含液態微粒，粒徑小于10μm。這種大氣塵在環境保護領域叫作飄塵，以區別于在較短時間內即沉降到地面的落塵(沉降塵)。產生大氣塵的有自然發生源和人為發生源。在自然發生源中，有因為海水泡沫作用面帶入空氣中的海鹽微粒，可深入陸地數百公里，90%則降于海上；有風吹起的土壤微粒；有森林火災時放出的大量微粒；還有植物花粉等。在大氣塵發生源中，工業技術發展造成的大氣污染占主要地位。在燃料中煤的灰分大，一般占總質量的20%以上；石油的灰分極少，以石油代煤后，煤煙少了，但產生的二氧化硫在高空和水氣相遇，經太陽光等復雜作用，變成硫酸霧，污染更嚴重。隨著燃油工業的進一步發展和汽車數量的增加，燃燒排出的氫氧化合物與碳氫化合物之間的一系列復雜反應而產生臭氧、過氧酰基硝酸鹽和其他一些物質，這些物質經過太陽紫外線的照射而產生一種有毒的煙霧，稱為光化學煙霧。燃煤在我國能源構成中占多數，我國的大氣塵在人為發生源方面主要來自煤煙型大氣污染。大氣塵濃度各地差別很大，同地區不同時間差別也很大。由于供暖和氣候干燥，許多城市冬季的大氣塵濃濃度明顯高于其他季節。
（2）大氣中的微生物
活微生物存在于許多環境中，如土壤、淡水池塘、湖泊、海洋、食物和飲水等。由于人體環境既適合于微生物生存也適合于微生物繁殖，所以，人體內外的各個表面都會有微生物，其一般聚集在外表面、嘴、鼻與腸道中。
1)按照微生物生長的地方或使用的目的分類，可分為基本的、有用的、無害的、有害的、危險的等幾類。類是自然界有機物質的分解，屬于基本微生物，這些類型的微生物在工業上用于污染物分解，比如廢水凈化；第二類是有用微生物，常常用于商品生產，像生產啤酒、葡萄酒及其他酒*料、奶制品、抗生素等；無害微生物是指人體中包括腸道中的微生物，它們對維持人體內部健康起相當大的作用；有害微生物可對各種產品產生很大的危害，這些產品包括食品和飲料、化妝品及各種各樣的藥品;危險有機生物，常常是指致病微生物，它能導致人生病。
2)按更為科學的方法，微生物可以分成各種亞群，像細菌、藻類、真菌類、原生體(物)、病毒。
a.細菌
細菌包括由幾千種單細胞生物組成的一類微生物種群。細菌既存在于周圍空氣中，也存在于人體上，是常見的對生產工藝影響大的污染物。對物品、工藝流程或產品進行滅菌，就是把所有活的有機生物從物體表面、氣體或液體中全部除掉。所使用的滅菌方法，必須保證能將無性繁殖的有機生物及孢子消除或滅活。
b.藻類
藻類與其他微生物的不同之處在于它需要進行光合作用，只有在有陽光和水的環境中才能生存，一般不會對潔凈室造成污染。但可能影響水的再循環系統。
c. 真菌類
真菌有兩種形式：真菌與酵母菌。食物在高溫下儲存太長時間，一般都會生出真菌。在食品表面所見到的絨毛塊稱為菌絲體，就是由多細胞絲體組成的菌絲。真菌與大多數細菌相比，對養分的需求更簡單，并能在沒有大量水的條件下生長。在污染控制和潔凈室領域，它是第二大微生物污染源，并會對潔凈環境造成嚴重威脅。酵母菌是真菌類的第二種形式，屬單細胞有機生物。其形狀為螺旋形或卵形，長5-8μm。在顯微鏡下觀看酵母菌，它類似于細胞細菌，只不過體積大些。
d.原生物
原生物可存在于池塘、湖泊和河流這樣的自然水環境中。這些單細胞有機生物在構造上比微生物種屬的其他成員更復雜。它們靠吃更小的微數生物為生，反過來成為更大微生物的食物。由于原生物總是與天然形成的水環境有關聯，所以它們在污染控制和潔凈室領域中無足輕重。
e.病毒
病毒在微生物中處在很*的位置。按照一般所接受的觀念，不能將其分為活的有機生物。它們的構造簡單，常常是由一層蛋白質內的單個DNA或RNA分子組成，比微生物小得多。病毒為了繁殖需要一個寄主細胞，將自己的DNA或RNA注入其中，注入的核酸即DNA或RNA便在寄主細胞內復制。核酸復制完成后，病毒利用寄主細胞的細胞器官生成蛋白質層，并包圍核酸。后，新形成的病毒被釋放到周圍環境中。由于各種因素，病毒在寄主細胞內復制過程，約為20min到幾個小時不等。
2、室內污染源
潔凈室內的污染源主要來自四個方面：
（1）大氣中的粉塵、細菌，清凈空調系統中新風帶人的塵粒和微生物。
（2）作業人員發塵。作業人員的發塵量與作業人員的動作、潔凈工作服(包括鞋)的材料及形式、房間內的人員數量有關。在潔凈室包括潔凈輔助房間內均不準作業人員吸煙，因為吸煙將有大量的塵粒產生。
（3）設備及產品生產過程的產塵。隨著產品生產自動化程度的提高，作業人員不斷減少，設備及生產過程的原料、輔助材料、各種工藝介質和生產過程產生的塵源越來越引起人們的關注，且在各種塵源中所占比例呈上升趨勢。
（4）建筑圍護結構、設施的產塵，這里包括墻、頂棚、地面和裸露管線的產塵。建筑圍護結構、設施的產塵情況，與建造潔凈室所選用的建筑材料、施工安裝方法有關。近年來，由于建筑裝修材料的不斷改善，特別是各種貼塑噴涂面料、金屬壁板、仿搪瓷漆面墻、塑料地面等的應用，使來自建筑表面的產塵量日益減少，其所占室內總產塵量的份額已經較低。目前，潔凈室內的管線一般采用暗裝，少數裸裝管線均采用不銹鋼板（管）加以局部封存，以盡量減少產塵。
潔凈室內產品生產過程和生產設備的產塵量主要取決于產品生產過程的特點，選用的設備狀況及其采取的技術措施，選用的原料輔料，工藝介質的純度及其輸送系統等。近年來由于采取了各種技術措施，降低了這類產塵量，如采用封閉隔斷及局部排風等措施，使產區域相對于周圍空間有一定的負壓， 防止粉塵擴散危害其他工序的潔凈度;車間機械設備軸承、齒輪、傳動帶等運動部件在工作過程中，由于潤滑油升溫炭化及機械磨損等原因散到空氣中的塵埃對高潔凈度工藝的影響，越來越引起人們的關注。 在集成電路生產中，隨著集成度的提高，要求生產環境控制0.lum塵粒達到1級或更嚴的潔凈度，為了減少潔凈室建造費用，并可靠地達到別要求，目前，許多大規模集成電路工廠采用微環境技術和產工藝自動化技術，采用機械手、機器人，從而減少了室內人員，使室內產塵總量下降。在此情況下，機械設備的產塵量和生產過程的產塵量所占份額不斷提高。但在一般情況下，普通潔凈室內主要的污染源仍然是人。