由于集中式凈化空調系統所服務的潔凈室較多，它所要處理和輸送的風量比較大，但這些輸送風量中大部分是室內回風。為了滿足控制噪聲要求，送回風管采用低速輸送空氣，這樣使得輸送風管截面很大。機房內空氣處理設備龐大，風機體積大。整個空調系統占用了較大的建筑面積和空間。如果既能像分散式系統那樣，備潔凈室能就地回風而避免往返輸送，又能像集中式系統那樣按需要供給各潔凈室經空調處理到一定狀態的新風，則有利于潔凈室空氣參數控制。這種把空氣集中處理和局部處理結臺起來的系統，就是所謂的半集中式凈化空調系統。另一方面，隨著生產工藝的飛速發展，人們對潔凈室要求也不同了。為了降低造價和能耗，人們希望在同一個潔凈室中實現不同潔凈度分區控制．并盡量將高潔凈度空間縮小，盡可能使人員與之分離，國外電子行業中，出現的隧道式或管道式凈化空調就是屬于半集中式系統。還有，一些系統除需要保證一定質和量的新風外，對潔凈室內空氣參數要求較高，而系統中各個潔凈室的潔凈度差別很大（如科研實驗摟）；或使用時間不一，或要求各潔凈室之間避免交叉污染（如手術大樓）等等場合，采用半集中式系統具有*的優點。近年來，半集中式系統在普通空調中發展很快，應用得非常廣泛。在國外凈化空調領域中，隨著隧道式潔凈室興起起，也已出現更大發展的趨勢，但在國內采用并不多，主要因為國內這種方式的末端裝置性能、型式及品種并不十分理想，也不能適用種類繁多的行業和飛速發展工藝的需要。
半集中式凈化空凋系統主要由集中送風處理室(如集中風為全新風則稱新風空調箱)和室內局部處理設備（也稱末端裝置）所組成。它可分為兩大類型。其中一類系統的集中風通常采用全新風（也有采用一小部分回風的）。集中風與整個系統處理風量相比，畢竟只占一小部分。因此空氣處理箱小，風道截面小。集中風經空調及凈化處理，通常只處理到室溫，新風對室溫不起調節作用。有的將集中風溫、濕度處理到一定狀態，使集中風承擔潔凈室內一部分熱濕負荷，這樣使全年運行工況比較復雜，管理也較麻煩。這類半集中式系統，室內配備具有熱濕處理能力的末端裝置。這種裝置中的熱交換盤管通常以水為媒介，夏天通冷水，冬天通熱水。末級過濾器在國外一般均為。
另一類半集中式系統中，室內配備的末端裝置只是一種局部凈化設備，井無熱濕處理能力。它需要集中風擔負室內空調負荷，往往全新風是不夠的，還需要一部分回鳳。集中供風的空氣處理室容量要比上述系統大。由于末端裝置不涉及空調處理，因此它可利用目前現有的種類繁多的局部凈化設備，使它應用范圍更廣。
具有熱濕處理能力的末端裝置的系統：當系統的潔凈室內熱濕負荷較大，各潔凈室間負荷差異較大；或各潔凈室使用時間不一；或各潔凈室間避免互相污染，可采用具有熱濕處理能力的末端裝置的半集中式系統。國外已有生產帶有熱交換盤管的局部凈化設備，以及帶有盤管的手術室水平平行流機組。國內由于風機和過濾器性能問題，這類裝置發展很慢。近由于國內有了低阻亞過濾器，從而開發了立柱式亞風機盤管。這種裝置占地小，噪聲低，可根據據室內負荷在室內設置單臺或多臺機組。由于它的氣流組織是上進下回，不同于國內一般的立式或臥式風機盤管類的末端裝置，不會形成一股向上流動的氣流而對凈化效果產生不利。由于這種裝置末級過攄器為亞高技的，它尤為適用于以除菌為目的的生物潔凈室。當然，如果工程需要，這種裝置的末級過濾器也可以為中效。
對于較大型的末端裝置，也可將一次風直接送人風機盤內。它與回風混合后經盤管進入室內。室內只有一個送風口。空調精度提高，也避免一次風對末端裝置局部平行流區域干擾，但是這樣要使較多空氣流經盤管，要求風機容量提高，可能會使噪聲增加。對一次風來說，凈化處理要求可降低，使機房內集中進風風機壓頭降低。
純凈化作用的末端裝置：這種類型的半集中式凈化空調系統為普遍。大多數改建工程都采用它。一股來說，更適用在原有空調系統中增設凈化措施。首先要對原有空調系統進行凈化改造，在原空調系統內增設過濾設備備。如可往送風管路正壓段的適當地方增設過濾箱、在各室進風口增設過濾器，或更換原系統過憾器。根據末端裝置特性及潔凈空間要求，所增設的過濾不一定非是過穗器，但也不應低于中效過濾器，否則集中送風系統等于向室內送塵送菌這是極不合理的。為克服系統中因增設過濾器所產生的附加阻力，可在管路系統中增設風機，使其與原系統風機串聯；也可提高原系統風機轉數或者把原系統風機換達。其次可根據工藝生產要求，選擇合理的末端裝置。如可在室內增設潔凈工作臺。空氣自凈器、各種類型的平行流潔凈棚以及裝配式潔凈小室等。末端裝置在室內自循環，自凈化，其實質上在室內起自凈作用，對提高室內潔凈度是一種輔助手段。當調節末端裝置的風量或改變開啟臺數時（如自凈器），可使室內實現不同潔凈度。末端裝置對室內自凈作用與全面凈化相比，效果差得多，而且均勻性也差。即末端裝置控制區域，潔凈座高，越遠離控制區域，潔凈度越低；根據這種特性，可以實現同一潔凈室分區控制，并可以實現同一系統內不同級別的潔凈室。當末端裝置大到一定程度，可將室內自凈到很低的含塵濃度，故*可以采用具有更大靈活性和適應性的無圍檔末端裝置。如果對潔凈氣流流向加以控制，在整個室內分區控制，這就是目前流行的潔凈隧道的原型。
末端裝置可以是根鋸生產上藝所需的特定的各式潔凈工作臺，設置在生產線.上形式與生產工藝密切配合的潔凈帶。與集中式全面凈化方式相比，具有良好節能性。但對于生產工藝發展的應變能力差，為丁適應工藝的飛速發展，可用通用性半敞開的凈化工作臺組成“凈化通道”，即形成所謂的“浩凈隧道”。潔凈隧道布置在較低級別的大面積潔凈車間中集中送風只消除室內熱濕負荷，而在潔凈隧道內保持高潔凈度。